品牌 | 優爾鴻信 |
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優爾鴻信檢測實驗室具備非破壞性、破壞性及半破壞性全類型檢測能力,涵蓋 3D X-Ray、C-SAM、場發射掃描電鏡、FIB、離子束切割、工業CT 等核心設備,可精準檢測焊點質量、PCB 缺陷、封裝內部問題等,兼顧外觀與深層分析,為電子元件可靠性提供全面技術支撐。
聚焦離子束(Focused Ion Beam,簡稱FIB)是一種的材料加工和分析技術,廣泛應用于材料科學、半導體制造、生物學等多個領域。FIB設備通過將高能離子束聚焦到樣品表面,進行微納加工和分析。其結合了聚焦離子束(FIB)和掃描電子顯微鏡(SEM)的功能,形成了FIB-SEM技術,實現對材料微觀結構的高分辨成像、局部取樣和三維重建。
FIB離子束的用途
FIB設備中的離子源產生高能離子束,常見的離子源是液態金屬離子源(LMIS),尤其是使用Ga?離子的顯微鏡應用。通過電場和磁場的控制,離子束被聚焦并精確掃描到樣品表面。
樣品加工:
高能離子束與樣品表面相互作用,通過濺射效應去除樣品表面的原子,實現納米級加工。
離子束還可以用于誘導沉積,在樣品表面沉積特定材料。
成像和分析:
同時,FIB設備通常配備掃描電子顯微鏡(SEM),用于對樣品進行高分辨率成像。
通過捕獲二次電子等信號,SEM可以獲取樣品表面的形貌信息。
FIB在失效分析中的應用
芯片截面分析:
FIB可以以納米級的精度對芯片進行截面切割,發現芯片內部的結構缺陷。
結合SEM成像,可以清晰觀察芯片內部的層次結構和材料分布。
電路修改和修復:
FIB技術可用于電路的精確修改,如切斷故障電路、沉積新材料修復電路等。
這在PCB板的失效分析和修復中具有重要意義,特別是對于復雜的多層PCB板。
TEM樣品制備:
TEM(透射電子顯微鏡)需要非常薄的樣品,通常約為100納米或更薄。
FIB設備可以精確選擇樣品上的特定區域,進行納米級切割,制備滿足TEM要求的樣品。
三維重構:
利用FIB-SEM技術,可以對樣品進行連續切片和成像,構建樣品的三維模型。
這有助于更深入地了解樣品的內部結構和性能。
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