機械磨樣、氬離子拋光、FIB（聚焦離子束技術）是常見的三種樣品制樣加工方式，每種樣品制樣加工方式各有優缺點，主要如下：

1.手工機械研磨樣雖價格便宜可觀察區域面積大，但由于其受到硬度、延展性等材料性能的影響，做出來的截面常常有變形、磨痕、脫落、褶皺、熱損傷等特性，產生假象，嚴重影響分析準確度，對厚度測量，截面觀察帶來困難。

2.氬離子拋光制樣是利用高壓電場使氬氣電離產生離子態，產生的氬離子在加速電壓的作用下，高速轟擊樣品表面，對樣品進行逐層剝蝕而達到拋光的效果。可進行截面制備與平面拋光，價格稍高，但樣品表面光滑無損傷，加工精度高，界面清晰，鍍層尺寸測量準確，還原材料內部的真實結構，用于制備EBSD、CL、EBIC或其它分析制樣。

3.聚焦離子束技術（FIB）是利用電透鏡將鎵離子束聚焦成非常小尺寸的離子束轟擊材料表面，實現材料的剝離、沉積、注入、切割和改性，配合掃描電鏡（SEM）等高倍數電子顯微鏡實時觀察，成為了納米級分析、制造的主要方法。雖然價格昂貴、加工區域小，但避免了金屬延展、碎屑填充、厚度偏差大的弊端。

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